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光譜共焦傳感器用于薄膜厚度測(cè)量

通常情況下,薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離,而實(shí)際上,薄膜的表面是不平整,不連續(xù)的,且薄膜內(nèi)部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質(zhì)、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三類:形狀厚度,質(zhì)量厚度,物性厚度。

工業(yè)生產(chǎn)的薄膜,其厚度是一個(gè)重要的參數(shù)。隨著科技的進(jìn)步和精密儀器的應(yīng)用,薄膜厚度的測(cè)量方法有很多,按照測(cè)量的方式分可以分為兩類:直接測(cè)量和間接測(cè)量。

使用光譜共焦傳感器,利用光學(xué)的方法,非接觸式地測(cè)量薄膜的厚度。在檢測(cè)過(guò)程中,白光可以直接穿透,取兩個(gè)波峰頂點(diǎn)的中間段的值,即為薄膜的厚度。

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